根據《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》等有關規定,對蘇州惟清半導體有限公司第三代半導體高端光電器件晶圓生產及功率器件晶圓研發項目(第一階段)竣工日期及調試起止日期進行信息公示,使項目建設可能影響區域環境內的公眾對項目建設情況有所了解,并通過公示了解社會公眾對本項目的態度和建議,接受社會公眾的監督。
一、 建設項目情況簡述
蘇州惟清半導體有限公司于2023年9月28日成立,由功率芯片設計領軍企業清純半導體有限公司與化合物半導體光電芯片龍頭企業長光華芯共同出資成立,專注于第三代半導體功率芯片研發生產制造,項目總投資額50億元,一期項目投資5億元,于蘇州高新區科技城工業坊A區2號樓101、102、203建設“第三代半導體高端光電器件晶圓生產及功率器件晶圓研發項目”,年產硅基氮化鎵光電器件晶圓5萬片、年研發碳化硅基氮化鎵功率器件晶圓2400片。
本項目光電器件晶圓、功率器件晶圓定位為高端產品,用于特定的光電器件及功率器件,這些器件在新能源汽車、消費電子、通訊、醫療和科研等領域有著廣泛的應用,因此本項目晶圓尺寸定位在2-3寸,更適合定制化需求,能夠提供更靈活的設計和更高的定制化程度。
2023年12月25日,本項目已取得蘇州高新區(虎丘區)行政審批局審批的《江蘇省投資項目備案證》(備案證號:蘇高新項備[2023]585號)。
本項目環評審批過程:2024年12月,企業委托蘇州市宏宇環境科技股份有限公司編制了《蘇州惟清半導體有限公司第三代半導體高端光電器件晶圓生產及功率器件晶圓研發項目環境影響報告表》,并2025年1月24日取得蘇州高新區管委會的環評批復(審批文號:蘇高新管環審[2025]016號)。
驗收工作的開展:2025年9月,蘇州惟清半導體有限公司對其建成運行“蘇州惟清半導體有限公司第三代半導體高端光電器件晶圓生產及功率器件晶圓研發項目”進行自主驗收工作,本項目開工時間2025年2月,竣工及調試時間2025年10月31日。
二、 建設單位調試時產生的污染物及措施簡述
(一)廢水
本項目生產廢水主要來自柵氧前清洗、金屬化前清洗、金屬腐蝕、其他腐蝕、去膠、減薄、背面刻蝕&清洗、背金開槽、刀輪劃片、劃片清洗、備件/設備/控片清洗工序、研磨工序、冷卻塔及純水制備,上述清洗廢水分質收集,分質處理,有機廢水經“AO+二沉池”裝置處理后進入“酸堿中和”裝置;研磨廢水經混凝沉淀裝置處理后進入“酸堿中和”裝置;含氮、含氟廢水經“含氟一級反應池+二級反應池+除氟樹脂”+“錳砂過濾+一級吹脫+二級吹脫”裝置處理后進入“酸堿中和”裝置,一般酸洗廢水直接進入“酸堿中和”裝置,清洗廢水中純水清洗工序中50%后道清洗水經中水回用裝置處理后回用,其余50%純水清洗廢水進入“酸堿中和”裝置,上述處理后的清洗廢水與冷卻塔強制排水及制純濃水一起經生產廢水排放口DW005排放。
生產廢水與生活污水混合后再經租賃廠區總排放口DW001接管至市政污水管網,最終由科技城水質凈化廠集中處理達標后排入滸光運河。
(二)廢氣
本項目廢氣主要為酸性廢氣、堿洗廢氣及有機廢氣,有機廢氣經密閉空間負壓收集后再經二級活性炭吸附裝處理后經25m高DA001排氣筒排放;堿性廢氣經密閉空間負壓收集后再經酸液噴淋塔處理后經25m高DA002排氣筒排放;CVD、氧化、干法刻蝕工序產生的酸性廢氣經設備自帶尾氣處理設施處理后(其中熱氧氣廢氣經“電熱水洗裝置”處理,CVD廢氣與干法刻蝕廢氣經“等離子體點火燃燒水洗裝置”處理,離子注入廢氣經“化學干式吸附”處理)再與經密閉空間負壓收集的其他酸性廢氣一起接入堿液噴淋塔,經處理后經25m高DA003、DA004、DA005排放(兩兩組合排放)。
(三)噪聲
本項目噪聲源主要為風機、全自動減薄機等生產設備運行時產生的噪聲,通過合理布局、日常維護和保養、防震、隔聲等措施后,項目噪聲排放符合相應排放限值要求。
(四)固體廢棄物
本項目不合格品、純水制備濾材、廢靶材由供應商回收利用;一般廢包裝、生活垃圾委托蘇州康華城市垃圾清運有限公司處理;有機污泥、含氟污泥委托蘇州惠新普環保科技有限公司處理;廢酸液、廢堿液、硫酸銨廢液、廢汞燈委托中新和順環保(江蘇)有限公司處置;廢濾芯、廢去光膠劑、廢顯影液、廢光刻膠、無塵布、危險廢包裝、廢砂、設備自帶廢氣處理廢液、廢活性炭、除氟廢樹脂、異丙醇廢液、乙二醇廢液、丙酮廢液委托中新蘇伊士環保技術(蘇州)有限公司處置,實現固廢零排放,不會造成二次污染問題。
三、竣工日期及調試起止日期
1、竣工日期:2025年10月31日;
2、調試起止日期:2025年10月31日—2026年1月29日。
四、征求公眾意見的范圍:
關注本項目建設項目和周邊環境影響區域內居民、單位等公眾。
五、公眾反饋方式:
公眾可采取向公示指定地址發送信函、電子郵電等方式,發表對該工程竣工的意見和看法,發表意見的同時請提供詳細的聯系方式,建設單位將聽取公眾的意見對建設項目進行整改。
六、建設單位名稱及聯系方式:
建設單位名稱:蘇州惟清半導體有限公司
通訊地址:蘇州高新區科技城工業坊A區2號樓101、102、203
聯系人:陳工
電話:0512-68651286
郵箱:zqc@sichainsemi.com